NEDOが今日発表したところによると、その「戦略的省エネルギー技術革新プログラム事業」において、ギガフォトン（株）は、EUV（ Extreme Ultra Violet）スキャナー（極端紫外線を用いた半導体用次世代露光機用レーザー生成プラズマ（LPP）光源：特定の物質に…