半導体加工技術のフィルテックが大気中でガラス基板に結晶性の高いシリコン薄膜を作る装置を開発したと報じられている。これまで真空中でないとこれは難しいとされていたのだが、いわば発想の転換によって、窒素ガスのエアカーテンを活用し装置内部に酸素が…